Des industriels dessineront les puces au Scalpel

En électronique, small is beautiful. Alors que les composants les plus performants du marché sont dessinés avec une finesse de trait de 0,18 microns, les travaux des chercheurs des Bell Labs, filiale de Lucent, permettent d’espérer une précision de 0,05 microns grâce à leur technologie Scalpel qui utilise des électrons au lieu de la lumière pour graver les puces. A force de réduire la longueur d’onde de la lumière utilisée en lithographie optique, un passage obligé pour améliorer la finesse de gravure, les industriels voient se dresser devant eux des barrières technologiques que l’utilisation de faisceaux d’électrons permettra de repousser de plusieurs années. Une manière de poursuivre la formidable épopée des semiconducteurs, suivant la loi de Moore qui stipule que la puissance des composants double tous les 18 mois.

Lucent a convaincu des fabricants de puces, Texas Instruments, Motorola et Samsung, ainsi que des équipementiers, Applied Materials et ASM Lithography, de participer à l’aventure du la lithographie électronique. Ces derniers ont, pour l’occasion, créé une société commune, eLith. Les sept industriels de l’alliance travailleront ensemble à concevoir et industrialiser les outils de gravure électronique. Ils ont précisé que ce rapprochement n’avait rien d’exclusif et qu’ils étaient ouverts à toute autre participation.