Soitec améliore le rendement de la fabrication de semi-conducteurs en carbure de silicium grâce à la technologie d’inspection KLA
Bernin (Grenoble), France, le 13 juillet 2022 – Soitec (Euronext Paris), leader dans la conception et la fabrication de matériaux semi-conducteurs innovants, a sélectionné KLA Corporation (NASDAQ : KLAC), leader dans le contrôle des processus et les systèmes d’inspection avancés, pour permettre la fabrication à haut rendement de composants innovants en carbure de silicium (SiC) pour l’industrie automobile.
Soitec s’appuie sur sa technologie unique et brevetée SmartSiC™ pour produire des substrats en SiC, qui visent à améliorer les performances des dispositifs d’électronique de puissance et à améliorer l’efficacité énergétique des véhicules électriques.
Fort de ses antécédents en utilisation des systèmes d’inspection de KLA pour ses substrats en silicium sur isolant (SOI, pour Silicon on Insulator), Soitec a étendu son partenariat avec KLA et a sélectionné le système d’inspection pour substrats sans motif Surfscan® SP A2 pour ses wafers SmartSiC™.
Les substrats SmartSiC™ de Soitec offrent une qualité cristalline supérieure et unique, tandis que le Surfscan® SP A2 de KLA utilise un laser dans l’UV profond (UV-C) et des algorithmes
avancés pour prendre en charge le contrôle de la qualité des substrats. Ce partenariat permettra d’atteindre un nouveau seuil de sophistication de la production de substrats en SiC, aidant ainsi l’industrie à fournir des semi-conducteurs en SiC de haute qualité et en grands volumes au marché automobile.
En mars 2022, Soitec a annoncé la construction d’une nouvelle usine, Bernin 4, à son siège social de Bernin près de Grenoble, en France, principalement dédiée à la fabrication de substrats SmartSiC™ de diamètre 150 mm et 200 mm. La nouvelle usine devrait être opérationnelle d’ici le second semestre 2023.
« La combinaison de nos substrats avancés uniques SmartSiC™ avec les systèmes de métrologie de KLA nous aidera à assurer des niveaux de qualité suprêmes dans la fabrication des substrats, et ainsi à stimuler le rendement des clients en aval », a déclaré Christophe Maleville, directeur de la technologie de Soitec. « Avec KLA, nous avons démontré le grand potentiel de leur système d’inspection pour notre technologie SOI, qui est très important. Nous l’appliquons maintenant à notre technologie innovante SmartSiC™ pour le secteur automobile. Cela nous aidera à améliorer l’efficacité de notre fabrication, à satisfaire la demande croissante du marché des véhicules électriques et à offrir une valeur ajoutée supplémentaire à nos clients. »
« Chez KLA, nous accordons une grande importance à nos relations avec nos clients et à nos investissements en R&D, car ils nous apportent les connaissances et les technologies nécessaires pour fournir les solutions de contrôle de processus requises au bon moment « , a déclaré Jijen Vazhaeparambil, senior vice president of the Surfscan, ADE and ECI group. « Grâce à notre étroite collaboration avec Soitec, nous avons pu adapter notre technologie d’inspection Surfscan de classe mondiale au segment des substrats au segment des substrats matériaux à large bande interdite. Le système Surfscan® SP A2 qui en résulte offre la sensibilité et la capacité de production nécessaires pour aider Soitec à atteindre ses normes de qualité strictes pour le SiC et d’autres substrats à large bande interdite. »
Surfscan® est une marque déposée de KLA Corporation.
A propos de Soitec
Soitec (Euronext, Tech 40 Paris) est un leader mondial de la production de matériaux semiconducteurs innovants. L’entreprise s’appuie sur ses technologies uniques pour servir les marchés de l’électronique. Avec plus de 3 500 brevets, elle mène une stratégie d’innovations disruptives pour permettre à ses clients de disposer de produits qui combinent performance, efficacité énergétique et compétitivité. Soitec compte des sites industriels, des centres de R&D et des bureaux commerciaux en Europe, aux Etats-Unis et en Asie. Pleinement engagé vers un développement durable, Soitec a adopté en 2021 sa raison d’être pour refléter ses engagements : “Nous sommes le terreau innovant de technologies intelligentes et économes en énergie, qui transforment durablement nos vies quotidiennes. »
Soitec, SmartSiC™ et SmartCut™ sont des marques déposées de Soitec.
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